在Kloe研发的专利光路加持下,Dilase 125具备较大聚焦景深,深宽比达到30:1(极低边缘粗糙度),支持基片厚度为250μm至5mm,直写厚膜的性能表现与直写薄膜时无差别。
Dilase 125具备3种直写模式(矢量模式、扫描模式和矢量+扫描模式),支持一次性激光加工,无需调焦,避开了部分加工场景中的粗糙度问题。
产品特色
自动对焦
产品紧凑,长宽高尺寸:494 * 565 * 626mm
直写模式:矢量模式、扫描模式和矢量+扫描模式
支持文件格式:LWI(KloeDesign 软件的格式);DXF和GDSII;
集成设计软件:KloeDesign, DFL Creator, DilaseSoft
电源:100V/240V – 50Hz/60Hz
可降低功率密度的滤波器(可选)
支持375nm(70mW)波长激光源(可选)
视频调整系统(可选)acc:2μm
应用领域
微流控芯片
微电子学
微观力学
表面功能化
光子学
灰度、微透镜和光栅