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Kloe精密激光直写系统Dilase125
简介:

Dilase 125是一款即插即用式激光直写系统,皮实且操作简单,5微米的光斑、30:1的深宽比以及100*100mm的样品台尺寸,使得Dilase 125非常适用于无掩膜光刻场景下的应用。

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技术突破点/功能图解

在Kloe研发的专利光路加持下,Dilase 125具备较大聚焦景深,深宽比达到30:1(极低边缘粗糙度),支持基片厚度为250μm至5mm,直写厚膜的性能表现与直写薄膜时无差别。


Dilase 125具备3种直写模式(矢量模式、扫描模式和矢量+扫描模式),支持一次性激光加工,无需调焦,避开了部分加工场景中的粗糙度问题。

 


产品特色

自动对焦

产品紧凑,长宽高尺寸:494 * 565 * 626mm

直写模式:矢量模式、扫描模式和矢量+扫描模式

支持文件格式:LWI(KloeDesign 软件的格式);DXF和GDSII;

集成设计软件:KloeDesign, DFL Creator, DilaseSoft

电源:100V/240V – 50Hz/60Hz

可降低功率密度的滤波器(可选)

支持375nm(70mW)波长激光源(可选)

视频调整系统(可选)acc:2μm


应用领域

应用领域

微流控芯片

微电子学

微观力学

表面功能化

光子学

灰度、微透镜和光栅

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规格参数

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