高分辨率光固化3D打印技术,打印分辨率优于10um;
大尺寸器件快速打印,可至100mm * 100mm* 50mm
375nm和405nm两种激光光源可选,满足多种材料的打印;
聚焦景深大,保证结构垂直面的打印精度;
可定制更高打印分辨率,可至5um
规格参数
打印样品尺寸:
激光光源:375nm或405nm
光斑尺寸:1um-50um可选
图形格式:STL
打印步进:100nm
打印文件格式:STL
打印模式:扫描模式和矢量模式
性能参数
打印线性速度:zui大至50mm/s
位移精度:100nm
重复性误差:100nm
打印基板尺寸:1-4英寸 wafer
基板厚度:250um-10mm
整机尺寸:545 x 795 x 853 mm