UV LED 光源
设计紧凑，操作简单
高精度 365nm +/- 5nm 单色光光源
可进行软接触和硬接触曝光光刻（含
压力测量传感器）
兼容目前市场上的全部光刻胶
分辨率: < 1µm
手柄自动巡航对位，对位精度: 1µm
365nm 单色 LED 光源，带宽小于 10nm
图像辅助的自动巡航 PAD 操作对准定位系统
采用高光强 LED 冷光源，避免光源发热引起的温度
变化干扰，提高光刻面均匀性；
光源寿命大于 10000 小时，减少维护及使用成本；
可调节 UV 光强
友好的触摸屏操作界面，可编程光刻工艺；
无需预热，快速开始进入工作状态；
全封闭紫外曝光区域，保障操作人员的安全；
半自动晶圆上下料系统
低功耗，节能环保
性能指标
最小光刻尺寸 1µm
对位精度 1µm
紫外光源波长 365nm +/- 5nm
光源光强 35mW/cm² +/- 10%
光刻区域工作温度变化 < 1°C
工艺时间 (连续/非连续模式) From 1s to 1h
可保存光刻工艺数量 无限制
外形尺寸 475x480x515mm
总重量 55kg / 121lbs
触摸屏尺寸 15.6” diagonal,color
供电电源 100V/240V –
50Hz/60Hz
功耗 180 Watts
010-58237080
